이슈타르
레지스트, 레지스트 도포 장치의 사용 용도 원리, 총정리!
1. 레지스트란? 레지스트는 에칭이나 납땜 등의 공정에서 기판의 특정 개소를 보호하기 위해 사용하는 재료입니다. 일반적으로 반도체 공정에서 사용되는 "포토레지스트"를 단순히 "레지스트"라고 부릅니다. 포토레지스트는 특정 파장의 빛을 흡수하면 화학구조가 변화하여 세정액, 현상액에 대한 용해성도 바뀝니다. 그 때문에, 기판에 레지스트를 도포한 후에, 회로 패턴을 그린 마스크 너머로 기판에 광을 조사하는 것으로, 일부의 레지스트만을 가용화, 혹은 불용화시키는 것이 가능합니다. 이 상태에서 현상액을 이용하여 기판을 세정하면 가용한 레지스트만이 용출되고, 기판의 일부만이 레지스트에 보호된 상태를 만들어낼 수 있습니다. 또한, 레지스트에는 빛이 조사된 부위가 현상액에 용해되는 「포지티브형 레지스트」와, 빛이 조사된..
2023. 1. 6.